参考资料:光栅尺的原理是什么?怎么选择?供应商都没讲明白,6年了我第一次听懂

1. 光栅尺原理

1.1 简单理解

很多运动平台,都会用到光栅尺,用来做闭环控制,光栅尺,简单理解就是一把尺子。

打个比方,游标卡尺都用过吧,再或者卷尺用过吧,尺子上面有刻度,这些刻度作为基准,你只需要把要测的物件,和卡尺上的刻度做比较,就可以用来衡量长度、大小、深度等信息。

同样地,光栅尺上也有“刻度”,这种刻度叫光栅,是通过光刻刻在尺子上的,只不过,它不是通过人眼来读取信息,而是通过配套的读数头,来读取位置信息。

1.2 实际原理

实际原理复杂很多:光栅是在玻璃或钢带尺上,制作的一系列条纹和狭缝,一个条纹和一个狭缝的宽度称为栅距,常见栅距20um。

读数头每扫描一个栅距,就产生一个正弦波信号周期,此信号再通过一个电子电路进行细分(读数头内置的或者外部细分盒),比如5,10,50,100倍的细分,所以可以达到很高的分辨率。

比如,一个20um栅距,经过50倍细分,那一个周期就是0.4um,这就是厂商说的分辨率。

接下来说明一下光栅尺的工作原理:

如下图,读数头中有和尺体栅距一样的指示光栅(Scanning reticle),并且读数头中本身有LED光源,当读数头相对于光栅尺(Scale)移动时,LED光在经过了聚焦镜后(Condenser lens),照射到光栅尺上,然后光通过光栅狭缝,衍射到读数头的光电探测器上(Photocells),这样就在探测器平面上,产生了明暗相间的正弦干涉条纹。

接着,探测器把这些条纹,转换成正弦波变化的电信号,再经过电路的放大和整形后,得到两个相位差90度的正弦波,或方波信号A和B。正弦波或方波的周期数,与移动距离成正比。尺体正向移动时,A信号超前B信号90度,尺体反向移动时,A信号滞后B信号90度。
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下面的动图详细地说明了光栅尺的工作流程。
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需要注意的是,实际情况,光电探测器和LED在光栅尺的同一侧,都集成在读数头中。当光照射到光栅尺后,有一部分光会反射回去,然后通过聚焦镜,照射回光电探测器,形成电信号。
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2. 光栅尺的精度

光栅尺的精度一般是±15μm,±5μm,±3μm,±1μm。

需要注意的是,这里说的精度,是光栅尺的制造误差,指每走1m实际可能的误差,而如果小距离行走,误差会更小,比如±0.275μm/10mm,±0.750μm/50mm,就是说运动10mm和50mm可能产生的误差分别是±0.275μm和±0.750μm,这是光栅的本身制造精度,也是选择光栅尺的一个重要参考。

比如,我们经常希望一个轴的定位精度是±3um/100mm或者±5um/100mm之类的,那么选择光栅尺的时候,首先,它的精度就要比这个要求高,比如±0.5um/100mm或者±1um/100mm。

另外,这里±1um/100mm并不能推导出±10um/1000mm,因为这里没有线性关系,往往光栅尺本身,会标注一两个短行程误差。比如精度±10um/m,往往100mm内的误差会小于±1um。

当然,读数头在细分信号的时候,也会引入误差,叫做差分误差,不过这个误差很小。比如一根光栅尺,栅距20um,分辨率为0.1um,周期误差(电子细分误差SDE)±0.15um。指的是栅距为20um的光栅,经过200倍细分,分辨率是20/200=0.1um,在这20um的栅距内,因为系统信号处理带来的误差是±0.15um。

3. 增量式光栅尺和绝对式光栅尺

3.1 增量式光栅尺

增量式光栅由周期性刻线组成。位置信息的读取需要参考点,通过和参考点的对比,来计算移动平台所在的位置。

由于必须用绝对参考点确定位置值,因此增量光栅尺上,还刻有一个或多个参考点。由参考点确定的位置值,可以精确到一个信号周期,也就是分辨率。绝大多数场合,都使用这种光栅尺,因为它比绝对式光栅尺便宜。

但是从速度和精度方面考虑,增量式光栅的最大扫描速度,取决于接收电子装置的最大输入频率 (MHz) ,和所需的分辨率。但是,由于接收电子装置的最大频率已固定,所以提高分辨率将导致最大速度相应降低,反之亦然。

3.2 绝对式光栅尺

绝对式光栅,绝对位置信息来自光栅码盘,它由一系列刻在尺子上的绝对码组成。所以,编码器通电时,就可立即得到位置值,并随时供后续信号电路读取,不用移动轴,执行参考点回零操作。

因为回零会浪费一定时间,如果机器有多个轴,那么回零循环可能变得既复杂又耗时。这种情况下,使用绝对式光栅尺是有利的。

并且,绝对式光栅,不会接收电子装置的最大输入频率的影响,可确保高速和高分辨率运行。这是因为,位置根据需求和使用串行通信确定。绝对式光栅最典型的应用,是表面贴装技术 (SMT) 行业中的贴片机,在该行业中,同时提高定位速度和精度,是永远追求的目标。

4. 光栅尺如何选型

第一,是精度。
第二,分辨率。
第三,行程。
第四,最大检测速度。
第五,电接口及电线长度。
第六,安装方式及安装空间。
第七,抗振动性能。
第八,价格。绝对式光栅尺一般贵20%。

一般来说,精度和分辨率是我们选择光栅尺的首要因素。

比如,要做一个行程100mm,系统定位精度是±0.01mm(±10um)的移动平台,我们可以选择行程是120mm,精度是±0.5um/1m,分辨率是0.02/10=0.002mm的光栅尺。

这样,行程有20mm的余量,可以用于做硬件保护,而光栅尺本身的精度±0.5um也很常见。

关于分辨率,之所以取定位精度的1/10来选择分辨率,是因为存在控制误差,通常在±10cnt,这里所说的1cnt,是指的,在光栅尺本身分辨率基础之上,做了细分处理之后的分辨率,通常有4倍或者8倍细分。

比如4倍细分,那么上面分辨率为0.002mm的光栅尺,分辨率将达到0.002mm/4=0.5um。±10cnt也就是±5um,留了一倍的余量,这个主要考虑,系统还存在机械误差,比如传动系统,结构刚性等,这些因素也会吃掉一部分精度。当然这些是几何误差的范畴,可以通过测量,获得误差曲线,进行一部分的补偿,但是,还是有不一部分动态误差,无法补偿。

另外,很多时候,我们并不关心绝对定位精度,而只关心重复定位精度。一般来说,系统的重复定位精度的数值为定位精度的1/2~1/3,最多不会超过一个数量级,即1/10。比如,此例子中,一般来说重复定位精度在±0.01mm/2~±0.01mm/10=±0.005mm~±0.001mm之间。

当然,还有一点,系统的重复定位精度,一般介于分辨率和定位精度之间。

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