前言

本博文为个人在学习Cadence Virtuoso时的记录,巩固自己学习的同时,也给其他初学者一些参考,学习过程中使用到的软件为Cadence IC617运行在CentOS7系统下,参考的书籍为Razavi的《模拟CMOS集成电路设计》。

为了后续各种电路的分析与计算,我们需要知道自己使用的工艺库基础MOS器件的相关参数,如 V T H V_{TH} VTH μ C o x \mu C_{ox} μCox λ \lambda λ等,本篇记录了如何通过在IC617中仿真并计算获取这些参数,工艺库使用的是TSMC 65nm工艺库。

一、NMOS参数仿真

(1)绘制原理图

在我的第一篇学习记录中有提到详细的原理图绘制,继续沿用上一次的工程。原理图如下,使用的NMOS,W=200nm,L=60nm:
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(2)开始仿真

将vgs作为parameter扫描,范围设置为0.7-1.2V,扫描5个点,vds作为自变量,扫描范围为0-2.5V,因变量为漏端电流。
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在菜单栏Marker -> Create Marker中可以设置游标。
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在图中添加两组垂直的游标,交点会自动显示数据,这里为了更精确,我选择了靠近饱和区中间的两组(1.3V、1.8V)。
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(3)开始计算

根据仿真测得数据,选取两组,如下表。

-Vds=1.3VVds=1.8V
Vgs=1.2V123.139 μ \mu μA133.626 μ \mu μA
Vgs=0.95V72.081 μ \mu μA80.440 μ \mu μA

NMOS特性方程(考虑沟道调制效应)如下:
I D = 1 2 μ n C o x W L ( V G S − V T H ) 2 ( 1 + λ V D S ) I_D=\frac{1}{2}\mu _nC_{ox}\frac{W}{L}\left ( V_{GS}-V_{TH} \right ) ^{2}\left ( 1+\lambda V_{DS} \right ) ID=21μnCoxLW(VGSVTH)2(1+λVDS)
先将第一行数据代入,如下:
123.139 μ A = 1 2 μ n C o x W L ( 1.2 − V T H ) 2 ( 1 + 1.3 λ ) 123.139\mu A=\frac{1}{2}\mu _nC_{ox}\frac{W}{L}\left ( 1.2-V_{TH} \right ) ^{2}\left ( 1+1.3\lambda \right ) 123.139μA=21μnCoxLW(1.2VTH)2(1+1.3λ)
133.626 μ A = 1 2 μ n C o x W L ( 1.2 − V T H ) 2 ( 1 + 1.8 λ ) 133.626\mu A=\frac{1}{2}\mu _nC_{ox}\frac{W}{L}\left ( 1.2-V_{TH} \right ) ^{2}\left ( 1+1.8\lambda \right ) 133.626μA=21μnCoxLW(1.2VTH)2(1+1.8λ)
上下两式相比,得 λ = 0.21 \lambda =0.21 λ=0.21.

再将第一列数据代入,如下:
123.139 μ A = 1 2 μ n C o x W L ( 1.2 − V T H ) 2 ( 1 + 1.3 λ ) 123.139\mu A=\frac{1}{2}\mu _nC_{ox}\frac{W}{L}\left ( 1.2-V_{TH} \right ) ^{2}\left ( 1+1.3\lambda \right ) 123.139μA=21μnCoxLW(1.2VTH)2(1+1.3λ)
72.081 μ A = 1 2 μ n C o x W L ( 0.95 − V T H ) 2 ( 1 + 1.3 λ ) 72.081\mu A=\frac{1}{2}\mu _nC_{ox}\frac{W}{L}\left ( 0.95-V_{TH} \right ) ^{2}\left ( 1+1.3\lambda \right ) 72.081μA=21μnCoxLW(0.95VTH)2(1+1.3λ)
上下两式相比,得 V T H = 0.136 V V_{TH} =0.136V VTH=0.136V.

最后将计算得出的 λ 、 V T H \lambda 、V_{TH} λVTH 代入任意一个式子,解出
K n = μ n C o x = 51.27 μ A / V 2 K_n = \mu _nC_{ox} =51.27\mu A/V^2 Kn=μnCox=51.27μA/V2

二、PMOS参数仿真

(1)绘制原理图

和NMOS差不多,源端接最高电压3V,原理图如下:
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(2)开始仿真

由于PMOS和NMOS相反,所以vg要从大往小仿真,vg仿真范围我设置的是1.8V-2.2V,vd设置的是1V-3V,输出信号是D端电压和电流。
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marker尽量选择靠近饱和区中间的,我选的1.5V、2.0V.
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(3)开始计算

根据仿真测得数据,选取两组,注意这里:在原理图中我设置的是Vg和Vd,在这要换算成Vsg和Vsd方便计算,如下表。

-Vsd=1.5VVsd=1V
Vsg=1.2V-77.966 μ \mu μA-67.051 μ \mu μA
Vsg=1V-51.315 μ \mu μA-43.066 μ \mu μA

PMOS特性方程(考虑沟道调制效应)如下:
I D = − 1 2 μ p C o x W L ( ∣ V G S ∣ − ∣ V T H ∣ ) 2 ( 1 + λ ∣ V D S ∣ ) I_D=-\frac{1}{2}\mu _pC_{ox}\frac{W}{L}\left ( |V_{GS}|-|V_{TH}| \right ) ^{2}\left ( 1+\lambda |V_{DS}| \right ) ID=21μpCoxLW(VGSVTH)2(1+λVDS)
先将第一行数据代入,如下:
77.966 μ A = 1 2 μ p C o x W L ( 1.2 − ∣ V T H ∣ ) 2 ( 1 + 1.5 λ ) 77.966\mu A=\frac{1}{2}\mu _pC_{ox}\frac{W}{L}\left ( 1.2-|V_{TH}| \right ) ^{2}\left ( 1+1.5\lambda \right ) 77.966μA=21μpCoxLW(1.2VTH)2(1+1.5λ)
67.051 μ A = 1 2 μ p C o x W L ( 1.2 − ∣ V T H ∣ ) 2 ( 1 + λ ) 67.051\mu A=\frac{1}{2}\mu _pC_{ox}\frac{W}{L}\left ( 1.2-|V_{TH}| \right ) ^{2}\left ( 1+\lambda \right ) 67.051μA=21μpCoxLW(1.2VTH)2(1+λ)
上下两式相比,得 λ = 0.48 \lambda =0.48 λ=0.48.

再将第一列数据代入,如下:
77.966 μ A = 1 2 μ p C o x W L ( 1.2 − ∣ V T H ∣ ) 2 ( 1 + 1.5 λ ) 77.966\mu A=\frac{1}{2}\mu _pC_{ox}\frac{W}{L}\left ( 1.2-|V_{TH}| \right ) ^{2}\left ( 1+1.5\lambda \right ) 77.966μA=21μpCoxLW(1.2VTH)2(1+1.5λ)
51.315 μ A = 1 2 μ p C o x W L ( 1 − ∣ V T H ∣ ) 2 ( 1 + 1.5 λ ) 51.315\mu A=\frac{1}{2}\mu _pC_{ox}\frac{W}{L}\left ( 1-|V_{TH}| \right ) ^{2}\left ( 1+1.5\lambda \right ) 51.315μA=21μpCoxLW(1VTH)2(1+1.5λ)
上下两式相比,得 V T H = 0.140 V V_{TH} =0.140V VTH=0.140V.

最后将计算得出的 λ 、 V T H \lambda 、V_{TH} λVTH 代入任意一个式子,解出
K p = μ p C o x = 24.20 μ A / V 2 K_p = \mu _pC_{ox} =24.20\mu A/V^2 Kp=μpCox=24.20μA/V2

小结

至此,工艺库MOS的参数仿真就结束了,很多设计规则下,会给定W、L不变,这样就能保证所有设计下的MOS的特征参数一样了。
下表是最终计算的综合结果,若上面的计算方法有错误,恳请各位大佬指出!

- V T H V_{TH} VTH λ \lambda λ K K K
NMOS0.136V0.2151.27 μ A / V 2 \mu A/V^2 μA/V2
PMOS0.140V0.4824.20 μ A / V 2 \mu A/V^2 μA/V2

补:实际上这些参数可以在软件中看到,与实际计算有蛮大的差距,我暂时也不知道是为什么,希望有大佬能帮忙解答。。。
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可以看到很多信息,例如vth=0.504V,region=2
region是管子工作区间,0代表截止区,1代表线性区,2代表饱和区,3代表亚阈值区。
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