这里是基于目前学习情况的总结,道行比较浅,非常欢迎同行们对于相关知识进行评论,对错误的地方进行指出,感谢大家~

一、情况说明

  • 工具:基于IC617的Multipart Path
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  • 工艺:smic18

  • 情况:基于在不了解工艺,也不查看designrule的情况下利用Multipart Path制作单排孔/多排孔的GuardRing

二、简单制作GuardRing的方法

SP GuardRing

  • 在键盘上面点击O,出现下面的界面,选择M1_SUB,columns填5后点击Hide
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  • 出现下面的版图
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  • 观察对应的宽度和距离,首先AA的宽度为0.42
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  • CT孔到AA边缘的距离是0.1,CT孔之间的距离是0.25
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  • SP的宽度是0.78,到AA的距离是0.18
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SN GuardRing

  • 在键盘上面点击O,出现下面的界面,选择M1_NW,columns填5后点击Hide
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  • 出现下面的版图
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  • 观察对应的宽度和距离,首先AA的宽度为0.42
    在这里插入图片描述
  • CT孔到AA边缘的距离是0.1,CT孔之间的距离是0.25
    在这里插入图片描述
  • SN的宽度是0.78,到AA的距离是0.18
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  • NW的宽度是0.86,到AA的距离是0.18
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  • 接下来就基于上述的参数用Multipart Path制作单排孔的GuardRing

三、了解GuardRing

  • 主要有两种GuardRing,一个是SP GuardRing(环在N管周围),一个是SN GuardRing(环在P管周围),SN GuardRing会比SP GuardRing多一层NW,所以我们首先先做SP GuardRing,后续基于SN GuardRing再来制作SP GuardRing
  • 然后基于单排孔来制作多排孔
  • 了解层次
    • SP GuardRing:
      • AA:有源区,作为GuardRing的基底,主要是设置对应宽度就行
      • CT:通孔,用Subrectangle创建,主要设置通孔的长宽、通孔之间的间距以及边缘到AA之间距离
      • M1:金属1,用Offset subpath创建,主要设置M1的宽度
      • SP:SP注入,用Offset subpath创建,主要设置SP的宽度以及到AA之间距离
    • SN GuardRing:
      • 其他的同上
      • SN:SN注入,用Offset subpath创建,主要设置SN的宽度以及到AA之间距离
      • NW:N井,用Offset subpath创建,主要设置NW的宽度以及到AA之间距离
  • 总结
    • 目前制作的思路是先做AA有源区,设置好对应的宽度;在在这个基础上,先放CT,再放M1,最后放SN

四、利用Multipart Path制作单排孔的GuardRing

1.制作SP GuardRing

1)AA

  • 首先在版图界面,选择有源区AA
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  • 点击【Create】-【Multipart Path】
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  • 然后点击键盘上面的F3,则会出现以下界面
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  • 可以设置对应的名称,后续可以选择保存该GuardRing;目前这一步主要设置的是AA的宽度,设置为0.42
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  • 点击Hide

  • 在版图上面出现下面就设置成功了,注意先不要画上这条线
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2)CT

  • 继续点击F3,点击Subpart,出现下面的界面
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  • 添加CT,将CT到AA的距离设置成-0.1,相当于往回缩了0.1
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  • 此时CT就设置好了,但是注意不要画,后续做M1
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3)M1

  • 先点击【offset Subpart】后选择M1金属,最后添加
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  • 会出现下面的版图,但是M1金属的宽度设置有问题
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  • 根据上面的数据将M1的宽度设置成0.34
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  • 出现下面的版图
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  • 此时M1就设置完成

4)SP

  • 在刚刚那个界面上,选择层次为SP后修改宽度等数据后添加
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  • 则会出现下面的版图
    在这里插入图片描述
  • 此时SP也添加完毕
  • 最后可以将对应的设置保存起来,方便下次使用

2.制作SN GuardRing

  • 基于上面SP GuardRing的设置制作SN GuardRing
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  • 上面按照SP GuardRing设置好了,之后继续添加NW,将宽度设置成0.86,到AA的距离设置成0.18
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  • 则会出现下面的版图
    在这里插入图片描述

  • 最后可以将对应的设置保存起来,方便下次使用

五、利用Multipart Path制作多排孔的SP GuardRing

了解SP GuardRing

  • 首先看利用调通孔的方式生成多排孔SP GuardRing
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  • 观察下面的图形,AA的宽度是0.89,M1的宽度是0.81,SP的宽度是1.25;主要是通孔的设置有些特别,后续再讲
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制作SP GuardRing(二排孔)

  • 由于有单孔设置已经讲解了很多,下面有部分将不再赘述
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  • 添加通孔,Separation指的是孔的边缘到基准线中心的距离。
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  • 设置基准线为右边,距离应该是0.1+0.22(通孔的宽度)=0.32
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  • 同理设置基准线为左边,距离应该是0.1+0.22(通孔的宽度)=0.32
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制作SP GuardRing(三排孔)

  • 利用通孔查看宽度设置,AA的宽度是1.36,M1的宽度是1.28,SP的宽度是1.72;
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  • 制作SP GuardRing(三排孔)
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  • 版图如下
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六、总结

  • 通过上面的过程大概了解了利用Multipart Path制作想要的通孔,但是上述通孔在实际使用当中设置可能也会有更好的设置;
  • 目前大家可以根据上述过程可以设置自己想要的GuardRing,真正了解了Multipart Path这个功能的使用这篇文章就有它存在的意义
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